Erwin Willy Becker, unter dessen Leitung das Trenndüsenverfahren sowie das LIGA (Fertigungsverfahren) entwickelt wurde, erhielt für dieses Wirken 1957 den DECHEMA-Preis sowie 1982 den Heinrich-Hertz-Preis verliehen.
Publikationen
Mit Kuno Schäfer, Rolf Schütte: Die Temperaturabhängigkeit des Thermodiffusionsfaktors von Ortho- und Para-Wasserstoff im Bereich von 70°K - 128°K., Institut für Kernverfahrenstechnik, Karlsruhe, 1966
Mit Herbert Burghoff, Rolf Klingelhöfer: Hohlpincherzeugung mit kondensierten Molekularstrahlen, GfK, Karlsruhe, 1967
Trennung der Uranisotope: ein Vergleich der heute zur Diskussion stehenden Verfahren. Plenarvortrag anläßlich der Tagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft in Karlsruhe am 4. Oktober 1968. Gesellschaft für Kernforschung, Karlsruhe, 1968
Das Trenndüsenverfahren zur Anreicherung des leichten Uranisotops, Beispiel einer technischen Entwicklung : Beitrag zur Denkschrift der Deutschen Forschungsgemeinschaft: "Forschung in der Bundesrepublik Deutschland", Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, 1982
E. W. Becker, Rolf Klingelhöfer, Hubert Mayer: Wechselwirkung kondensierter Molekularstrahlen mit festen Oberflächen. In: Zeitschrift für Naturforschung A. 23, 1968, S. 274 (PDF, freier Volltext).
Mit Wolfgang Ehrfeld, Dietrich Münchmeyer: Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente, Forschungszentrum, Karlsruhe, 1984
Von der Kerntechnik zur Mikrotechnik: 30 Jahre Institut für Kernverfahrenstechnik. Ausarbeitung eines vom Verfasser anlässlich seiner Emeritierung am 19. Oktober 1988 in der Aula des Kernforschungszentrums Karlsruhe gehaltenen Vortrags, Forschungszentrum, Karlsruhe, 1988
Zwischen Universität und Forschungszentrum: Vorgeschichte und Geschichte meiner naturwissenschaftlichen Tätigkeit; (anlässlich des 50-jährigen Bestehens des früheren Instituts für Kernverfahrenstechnik (IKVT) und jetzigen Instituts für Mikrostrukturtechnik (IMT)). Universität Karlsruhe, Forschungszentrum, Karlsruhe, 2008