Ateizmo tema buvo populiari ir antikos laikais, Graikijospoetas ir „pirmasis ateistas“ Diagoras (V amžiaus pr. m. e.) labai ryškiai kritikavo religijas. Jis teigė, kad religijos yra tik žmonijos išmonė. Atomistas Demokritas viską tyrinėjo tik materialistiniais būdais, o sofistaiProtagoras ir Prodikas buvo ateistinių pažiūrų. FilosofasSokratas buvo laikomas ateistu, nes visiškai ignoravo dievų buvimą.
Renesanso laikais atsirado daugiau ateizmo tyrinėtojų. Leonardas da Vinčis vykdė begalę eksperimentų, ginčijosi su religijos atstovais. Nikolas Makiavelis ir Fransua Rablė kritikavo tikinčiųjų bendruomenes.
Reformacijos sąjūdžio pradžioje religijos bendruomenių valdžia nusilpo, susidarė žymiai daugiau ateizmo filosofų. anglų filosofas Tomas Hobsas neigė antgamtinių jėgų egzistavimą, o vokietis Paulas Golbachas atvirai pasisakė esąs ateistas.
XX a. ateizmas tapo plačiai minimas įvairių mokslininkų darbuose. Filosofas ir matematikas Bertranas Raselas tvirtino, kad visų pasaulio dievų neegzistuoja, jie tik išmonė. BritasAlfredas Ayeras teigė, kad religijos požiūriai nelogiški ir neįmanomi patvirtinimui. Džonas Diujis viską tyrinėjo be tikėjimo mokymų.
Nuo 1956 m. Indijoje bei pasaulyje prasidėjo aktyvus ateistų sąjūdis, kova prieš hinduizmą ir brahmanus, buvęs Albanijos pirmininkas Enveris Hodžas savo šalyje uždraudė visas religines bendruomenes.
Po Berlyno sienos griuvimo ateizmo banga nurimo, tačiau vis tiek šis filosofinis požiūris išliko populiarus.