Ett nytt örlogsvarv för den nya Skärgårdsflottans galärer tillkom på 1700-talet. Örlogsvarvet växte under 1800-talet med nya verkstäder för reparation och underhåll av flottans fartyg. År 1872 inleddes en omfattande upprustning för att möta de nya ångfartygens behov. De dittills i stort sett intakta galärskjulen på Galärvarvet förändrades i samband med detta till bland annat verkstäder. En mastkran anskaffades 1874, och åren 1875-79 anlades en ny slip, kajer och inte minst en stor torrdocka. Flera av de gamla galärskjulen revs senare och flera förstördes i en brand 1921. Idag återstår endast två stycken.
Beckholmen köptes av Marinförvaltningen 1918, då fanns där redan två torrdockor byggda 1850. Ytterligare en docka byggdes där på 1920-talet.
Varvet var en stor arbetsplats, och vid krigsslutet 1945 var antalet anställda över 1200. Hur det såg ut 1942 kan man se på en modell i brons, som finns vid Vasamuseets entré. Hjärtat i anläggningen var en stor torrdocka, omgiven av talrika verkstäder för bland annat rör, elektricitet, trä och plåtslageri. Vid kajen låg krigsfartyg och ubåtar förtöjda och nedanför departementskontoret fanns ett färjeläge för Djurgårdsfärjan.
Under 1960-talet inleddes en successiv avveckling av Galärvarvet. År 1969 lades varvet ned och verksamheten flyttades till Muskö. Beckholmens verkstäder och torrdockor övertogs då av Finnboda varv. Merparten av industribyggnaderna på Galärvarvet revs, och kajanläggningarna raserades. Området omdanades därefter till Galärparken. Mellan 1987 och 1990 byggdes Vasamuseet tvärs över den gamla torrdockan och regalskeppet Vasa placerades mitt i dockan.
På Skeppsholmen finns styckekranen och de flesta gamla verkstäderna kvar. Byggnaderna ligger bakom Moderna museet, och inramar en numera tom plats som delvis nyttjas som bilparkering.