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werden Defekte häufig in Form der Defektdichte D, der Anzahl von Defekten pro Flächeneinheit, oder der Defektdichte pro lithografischer Maskenebene. Die...

auf der immer besseren Qualität der Halbleiterschichten (geringere Defektdichten, weniger Verunreinigungen) auf dem Einsatz von Halbleiterheterostrukturen...

metastabile amorphe wasserstoffhaltige Silizium (a-Si:H) eine Zunahme der Defektdichte um etwa eine Größenordnung, bei gleichzeitiger Abnahme der Leitfähigkeit...

Es sind feine, hochfeste, monokristalline Fasern, die eine geringe Defektdichte aufweisen und damit die theoretische Streckgrenze erreichen. Sie werden...

werden; das verwendete Material kann spannungsfrei und mit sehr geringer Defektdichte hergestellt werden und die Elektroden erlauben die direkte elektronische...

Silizium hergestellte Oxidschichten sind amorph und besitzen eine geringe Defektdichte (auch an den Grenzflächen), so dass sie als Dielektrikum für die Steuerelektroden...

entwickelt, die auf Grundlage einer zum Teil messbaren bzw. gut abschätzbaren Defektdichte sowie anderer Produkt- und Fertigungseigenschaften eine Abschätzung der...

Halbleitertechnik eine neue Technik nur dann in der Fertigung eingesetzt, wenn die Defektdichte ein Niveau erreicht hat, das vergleichbar mit ähnlichen Techniken ist...

Galliumarsenid. Für die Lebensdauer von Laserbauelementen ist besonders niedrige Defektdichte des Substrates erforderlich. Mit HVPE-Galliumnitrid-Pseudosubstraten...

Anregungswellenlänge des verwendeten Lasers ab. Ebenso nimmt mit zunehmender Defektdichte das Verhältnis I2D/IG stark ab. Zusätzlich gilt pauschal, dass die Halbwertsbreite...

Fotolack-Reflow, um Grabenbreiten zu reduzieren) genutzt werden, um die Defektdichte für ein Design-Pitch von 2× oder kleiner zu reduzieren. In Anbetracht...

gewünschten Eigenschaften wie Schichtdicke, Homogenität oder niedrige Defektdichte. Folgende Parameter sind zu berücksichtigen: Viskosität der Beschichtungslösung;...

Geräte. geringere Kosten: Die Die-Größe und die erreichbare minimale Defektdichte begrenzen die theoretisch maximal erreichbare Ausbeute von integrierten...

Schicht selbst erzeugt; in diesem Zusammenhang wird auch von einer höheren Defektdichte gesprochen. Diese freien Bindungen wirken als Störstellen bzw. Streuzentren...

da dieses (im Gegensatz zu intrinsischem amorphem Silizium) eine hohe Defektdichte aufweist. Das epitaktische Wachstum einer solchen a-Si-Schicht führt...

Eigenschaften von hydriertem amorphem Silizium (a-Si:H). Dabei nimmt die Defektdichte von hydriertem amorphem Silizium (a-Si:H) bei Lichteinwirkung zu, was...

v^{-\nu /(1+z\nu )}.} Der Kehrwert der Korrelationslängen liefert die Defektdichte ρ ∼ ξ ¯ − d {\displaystyle \rho \sim {\bar {\xi }}^{-d}} , wenn d {\displaystyle...