Transfer Line Methode

Die Transfer Line Methode (auch Transferlängen-Methode oder Transferlängen-Messung) ist ein Verfahren aus den Halbleiter- und Werkstoffwissenschaften und beze…

Die Transfer Line Methode (auch Transferlängen-Methode oder Transferlängen-Messung) ist ein Verfahren aus den Halbleiter- und Werkstoffwissenschaften und bezeichnet die Messung des Kontaktwiderstands mit Hilfe einer zweidimensionalen Teststruktur.[1][2] Das Verfahren wurde erstmals 1964 von dem Physiker William Shockley eingeführt.[3] Es ist heutzutage ein oft verwandtes Verfahren, um die Übergangswiderstände von Halbleiter- und Metallschichten in zum Beispiel der Mikrosystemtechnik zu bestimmen.

Einzelnachweise

  1. ↑ Małgorzata Musztyfaga-Staszuk: Comparison of the Values of Solar Cell Contact Resistivity Measured with the Transmission Line Method (TLM) and the Potential Difference (PD). In: Materials (Basel, Switzerland). Band 14, Nr. 19, 26. September 2021, ISSN 1996-1944, S. 5590, doi:10.3390/ma14195590, PMID 34639986, PMC 8509334 (freier Volltext) – (nih.gov [abgerufen am 14. Mai 2026]).
  2. ↑ Detailed investigation of TLM contact resistance measurements on crystalline silicon solar cells. In: Solar Energy. Band 151, 15. Juli 2017, ISSN 0038-092X, S. 163–172, doi:10.1016/j.solener.2017.05.015 (sciencedirect.com [abgerufen am 14. Mai 2026]).
  3. ↑ A. Goetzberger, R. M. Scarlett: Research and Investigation of Inverse Epitaxial UHF Power Transistors. Defense Technical Information Center, Fort Belvoir, VA 1. September 1964, doi:10.21236/ad0605376 (dtic.mil [abgerufen am 14. Mai 2026]).

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